최근 인공지능(AI) 고성능 컴퓨터 수요가 증가함에 따라 차세대 HBM(고대역폭메모리, High Bandwidth Memory) 반도체 시장 규모가 점차 커질 것으로 전망되면서 워트의 수혜가 점쳐지고 있다.

29일 QY리서치 전망에 따르면, 글로벌 HBM 시장규모는 2022년 7.67억 달러를 기록했으며 2029년까지 매년 25.47% 성장하여 49.03억 달러(약7조원)에 이를 것으로 예측하고 있다.
이에 국내 글로벌 반도체 기업이 시장을 주도하고 있는 HBM 생산공정에 전공정에서 사용되는 트랙장비가 사용됨에 따라 THC(초정밀온습도 제어장비) 등 관련 장비시장 규모도 점차 증가할 것으로 예측되고 있어 수혜가 예상된다.

워트의 제품 중 가장 많은 매출 비중을 차지하고 있는 THC(초정밀 온습도 제어장비)는 반도체 포토공정 중 웨이퍼 표면에 PR용액을 도포하고 건조하는 트랙(Track)장비에 장착되어 PR(Photo Resist)코팅이 이뤄지는 코팅(Coating)공정과 노광공정을 마치고 나온 웨이퍼를 현상(Developing)하는 공정의 각 챔버에 파티클, 초정밀 온습도(온도 ±0.05℃, 습도 ± 0.5%), 미량가스(NH3, ACID등)가 제어된 공기를 공급하고 있다. 또한 트랙공정 중 하나인 베이크(Bake)공정에 초정밀 항온수를 공급하고 있다.

워트 측은 "외국 장비에 의존하던 THC 장비를 성공적으로 국산화했으며, 제품의 성능과 신뢰성을 인정받아 현재 삼성전자와 SK하이닉스의 1차 협력사로 등록되어 납품하고 있다"고 설명했다.

특히 "국내 삼성전자와 하이닉스 사이트 외에도 해외사이트인 삼성전자 서안 법인과 오스틴법인에도 납품을 하고 있으며, 향후 테일러 법인에도 납품할 계획"이라며 " SK하이닉스 우시 법인에도 납품을 하고 있으며, 중국내 LCS Agent를 통해서 중국내 영업활동을 진행하고 있다"고 덧붙였다.
한편 워트는 삼성전자의 자회사인 세메스와 2000년 초 포토트랙설비 개발부터 THC 개발에 참여했다. 다년간의 시행착오와 경험으로 축적된 노하우로 제품의 안전성 및 신뢰성을 인정받았다.

회사측은 "국내 상장사의 경우 동종업종은 있으나 모두 온도조절장치인 칠러만을 공급하는 업체로 초정밀 습도 제어장치와 칠러가 구성된 장비를 공급하는 업체는 없다"며 "국내에서 THC 장비를 생상하는 업체는 비상장사 멜콘이 유일하며 현재 국내 THC 시장은 멜콘과 당사가 양분하고 있다"고 말했다.

글로벌에픽 증권팀 이성진 기자 epic@globalepic.co.kr